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Advanced Micro and Nanosystems
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Micro and Nano Scale NMR
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Micro and Nano Scale NMR
Technologies and Systems
2018
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Resonant MEMS
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Resonant MEMS
Fundamentals, Implementation, and Application
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Micro Energy Harvesting
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Micro Energy Harvesting
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System-level Modeling of MEMS
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System-level Modeling of MEMS
2013
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Inkjet-based Micromanufacturing
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Inkjet-based Micromanufacturing
2012
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LIGA and its Applications
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LIGA and its Applications
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Reliability of MEMS
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Reliability of MEMS
Testing of Materials and Devices
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Micro Process Engineering
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Micro Process Engineering
Fundamentals, Devices, Fabrication, and Applications
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CMOS-MEMS
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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices
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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices
Advanced Micro and Nanosystems
2004
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Thermoelectric Energy Conversion
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Thermoelectric Energy Conversion
Basic Concepts and Device Applications
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Micro- and Nanomanipulation Tools
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Micro- and Nanomanipulation Tools
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