Autor/-in: Gerhard Franz

Gerhard Franz erwarb 1977 seinen Magistergrad in physikalischer Chemie an der Philipps-Universität Marburg und promovierte 1980 an der Philipps-Universität mit einer Arbeit über die thermodynamischen und leitfähigkeitstechnischen Aspekte der flüssigen Alkalimetalle Rubidium und Cäsium bis zu ihrem kritischen Punkt 1980 an der Philipps-Universität. 1981 wechselte er in die analytische Abteilung der Siemens Research Laboratories in München und nach fünf Jahren in die Abteilung Photonik der Siemens Research Laboratories, wo er 1992 für die Entwicklung plasmabasierter Verfahren, insbesondere des reaktiven Ionenätzens (RIE) und der Plasmadiagnostik, verantwortlich war. 2002 wechselte er an die Hochschule München, an der er bis 2019 als Professor für Angewandte Physik tätig ist.

Seine pädagogischen Interessen konzentrieren sich auf die Ausbildung von Doktoranden im Masterstudiengang "Mikro- und Nanotechnologie", in dem er seit mehr als 15 Jahren den Aufnahmekurs unterrichtet, der zur Grundlage dieser Lehrbücher geworden ist. Im Jahr 2005 gründete er zusammen mit einigen Kollegen der Technischen Universität München das Zentrum für Nanostrukturtechnologie. Bald weckte die chemische Gasphasenabscheidung der organischen Verbindung Poly-p-xylylol sein Interesse und wurde zum zweiten Zentrum seiner Forschung.

Gerhard Franz ist Autor von vier Büchern über Tieftemperatur-Plasmaphysik und Mikrostrukturierungstechnik, hält mehr als 70 externe Vorträge und hat mehr als 60 begutachtete Bücher verfasst. Themen sind vor allem RIE von III/V-Halbleitern, photonische Bauelemente, die mit dieser Technologie hergestellt wurden, Plasmadiagnostik und chemische Gasphasenabscheidung.