Breitbandige Frequenzweichen für die Parallelisierung von Millimeterwellen-Messtechnik

Diese Arbeit beschreibt den neuartigen Einsatz von breitbandigen kontinuierlichen Frequenzweichen für die Parallelisierung von Millimeterwellen-On-Wafer-Messtechnik durch die Integration in On-Wafer-Messspitzen. Eine modellbasierte Methode für den effizienten Entwurf von Frequenzweichen mit einer Vielzahl einstellbarer Parameter ermöglicht die erstmalige Realisierung einer DC 110 GHz 170 GHz Frequenzweiche. This work describes the novel use of broadband continuous diplexers that could be integrated into on-wafer probes to parallize millimeter wave on-wafer measurement equipment. A model-based method for the efficient design of diplexers with a large number of adjustable parameters allows the realization of a DC 110 GHz 170 GHz diplexer for the first time.