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Buch (Hardcover): Fachbuch
Photon Sources for Lithography and Metrology
Verlag:
SPIE Press Unsere-Artikel-Nr.: P34863209
EAN: 9781510653719
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Beschreibung
Photon sources enable the extension of lithography and metrology technologies forcontinued scaling of circuit elements and therefore are the key drivers for the extension of Moore's law. This volume is the authoritative reference on photon source technology and includes contributions from leading researchers and suppliers in the field.
Spezifikationen
Sprache
- Englisch
Autor
- Vivek Bakshi
Erscheinungsjahr
- 2023
Format
- Buch (Hardcover)
Anzahl Seiten
- 1320