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Buch (Hardcover): Fachbuch

Wafer Fabrication

Automatic Material Handling System

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Verlag:
De Gruyter
Artikel-Nr.: PZPNDW6
EAN: 9783110486902
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Zustellung: Do, 09.01.2025
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Beschreibung
This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and op...
Spezifikationen
Inhalt
Thema:
  • Chemie: Allgemein
Sprache:
  • Englisch
Publikation
Auflage:
  • 1
Erscheinungsdatum:
  • 24.09.2018
Erscheinungsland:
  • Deutschland
Produktform
Format:
  • Fachbuch
Seiten:
  • 284
Abmessung:
  • 24 cm (Höhe)
  • 17 cm (Breite)
Gewicht:
  • 675 g