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Buch (Hardcover): Fachbuch
Wafer Fabrication
Automatic Material Handling System
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Beschreibung
This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and op...
Spezifikationen
Sprache
- Englisch
Autor
- Jie Zhang
- Huazhong University of Science and Technology
Thema
- Chemie: Allgemein
Auflage
- 1
Erscheinungsjahr
- 2018
Erscheinungsland
- Deutschland
Format
- Buch (Hardcover)
Anzahl Seiten
- 284