Autor/-in: Ulrich Hilleringmann
Prof. Dr.-Ing. Ulrich Hilleringmann leitet das Fachgebiet Sensorik an der Universität Paderborn und lehrt Halbleitertechnologie, Mikrosystemtechnik, Sensorik und Prozessmesstechnik.
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Silizium-Halbleitertechnologie
Grundlagen mikroelektronischer Integrationstechnik
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Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
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