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Buch (Softcover): Fachbuch
Mikrosystemtechnik
Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
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Verlag:
Springer Verlag Unsere-Artikel-Nr.: X7Z4WDV
EAN: 9783835100039
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Beschreibung
Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.
Spezifikationen
Sprache
- Deutsch
Autor
- Ulrich Hilleringmann
Zielgruppe
- Upper undergraduate
Erscheinungsjahr
- 2006
Erscheinungsland
- Deutschland
Format
- Buch (Softcover)
Anzahl Seiten
- 288